웨이퍼 & 기판(Wafers & Substrates)
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SI Wafer
Grade Dummy, Test, Prime
Diameter 1", 2", 3", 4", 5", 6", 8", 12"
Type P-type, N-type, Intrinsic
Dopant B, Ph, Sb, As, Undoped
Orientation <100>, <110>, <111>, 그외 Off 방향도 가능
Resistivity Min.0.001-Max.30,000 ohm.cm
Thickness SEMI standard. 그외 수um까지 얇은두께도 가능
Surface As cut, lapped, Single or Both side polished
TTV & Bow Semi standard. TTV<1um, Bow<10um 가능
기타 금속막, 산화막 웨이퍼도 용도에 맞게 공급가능
SOI Wafer
Application MEMS, Optical, Mechanical, Sensors, Power Devices, Switches, Semiconductor등
Diameter 3", 4", 5", 6", 8"
Device Thickness 2~10um± 0.5um, 10~50um±1.0um, 50um up±2.0um
BOX layer Thermal oxide 0.5um~3um ± 5 % typical
Handle Thickness 250um ~ Standard thick
Flatness Less than 1 um TTV (the best)
Resistivity Per your specification
Type/Dopant P/B, N/Ph, N/Sb, N/As
Orientation <100>, <110>, <111>
Finish Single or Double Side Polished
Particles As low as 10 @ .2 um
GaAs Wafer
Application 고휘도발광다이오드(LED), 레이저다이오드(LD) 등
Grade Mechanical, Test, Epi-ready(Prime)
Diameter 2", 3", 4", 6"
Type SI-type, SC-type(P & N type)
Dopant Si, Zn, Undoped
Orientation <100>, <110>, <111>, 그외 Off 방향도 가능
Resistivity 1.0E7~1.0E8 Ω.cm , 0.001~0.1 Ω.cm
Thickness SEMI standard. 그외 수um까지 얇은두께도 가능
Surface As cut, lapped, Single or Both side polished.
TTV & Bow Semi standard. TTV<1um, Bow<10um 가능
Mobility >7,000cm2/v·sec, 1,000-3,000cm2/v·sec
Glass Wafer & Substrate
Application 박막증착, 디스플레이, 포토마스크, UV filter, Optical sensor, MEMS 등
Glass 종류 Sodalime, Corning1737, Eagle2000, Pyrex, Boroflaot, Fused silica, Fused Quartz외 기타재질도 가능
Diameter 2", 3", 4", 5", 6", 8" 외 사각 size도 공급가능
Surface Non polished, Single & Both side Polished
Roughness Ra<5Å & Ra<10Å
Thickness 0.5mm, 0.7mm, 1.1mm 그외 수um까지 얇은두께도 가능.
TTV & Bow Semi standard. TTV<1um, Bow<10um 가능
Single Crystal Substrates
Application 초전도박막, 고휘도발광다이오드(LED), 레이저다이오드(LD) 등
Material Sapphire(Al2O3), ZnO, MgO, SiC, YSZ, SrTiO3, LaAlO3등
Grade Mechanical, Test, Epi-ready(Prime)
Size 10 x 10mm, 20 x 20mm, 2"~4" dia
Orientation C, R, M-plane, <100>, <110>, <111>,그 외 Off 방향도 가능
Thickness SEMI standard. 그외 수um까지 얇은두께도 가능
Surface As cut, lapped, Single or Both side polished
TTV & Bow Semi standard. TTV<1um, Bow<10um 가능
Ceramic Substrates
Application 박막증착, Bio센서, Opto electronic등
Ceramic 재질 Alumina, Zirconia, AlN, PZT, 등
Size 원형 또는 사각의 다양한 size로 공급가능
Thickness 0.5mm, 0.7mm, 1.1mm 그외 수um까지 얇은두께도 가능.
Surface As cut, Single & Both side Polished
TTV & Bow Semi standard. TTV<1um, Bow<10um 가능
ITO Glass
Application TFT LCD, OLED diplay 등 기타
글라스기판 종류 Sodalime, Corning1737, Eagle2000
Size 370 x 470 x 0.7mm & 1.1mm, 기타 요청하는 size로 가공과 Dicing도 가능
Thickness 1800Å(Standard)외 User가 원하는 사양으로 대응 가능
Resistivity 면저항 10옴 이하와 30옴 이하
기타 IZO glass, FTO glass, ITO coated FET film도 공급 가능